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產(chǎn)品資料
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阿爾卡特ADS1202真空泵維修

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產(chǎn)品名稱: 阿爾卡特ADS1202真空泵維修
產(chǎn)品型號: ALCATEL ADS1202真空泵維修
產(chǎn)品展商: ALCATEL PUMP

阿爾卡特ADS1202真空泵維修 小巧:ADP/ADS系列2只有約390 mm寬 潔凈:阿爾卡特真空泵無摩擦無須油潤滑,也就無粉塵污染的風(fēng)險(xiǎn)。 安靜:阿爾卡特真空泵所有型號均含一臺靜音裝置,無須再安裝外部消聲裝置。 兼容半導(dǎo)體S2

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ALCATEL ADS1202H 真空泵維修

Adixen ADP/ADS系列2產(chǎn)品的四種型號可滿足不同真空要求,環(huán)境清潔的工藝應(yīng)用可選擇LM型,輕型或中型應(yīng)用要求可選擇P型,H型可供苛刻要求的工藝環(huán)境選擇。許多來自半導(dǎo)體工業(yè)的主要制造商已經(jīng)選擇這一產(chǎn)品,這一選擇使他們大大縮短了計(jì)劃外停工期,從而節(jié)約了運(yùn)行成本,提高了利潤率。
ADS1202真空泵特點(diǎn):
ADS1202處理能力可靠性高
寬交叉槽可容納大量粉塵和顆粒
**而閉合的溫控系統(tǒng)、高操作溫度以及從進(jìn)口到出口的氣體溫度的線性增長
各級采取立式抽吸防止吹掃腔中粉塵聚集
ADS 1202H主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造

小巧:ADP/ADS系列2只有約390 mm寬
潔凈:阿爾卡特真空泵無摩擦無須油潤滑,也就無粉塵污染的風(fēng)險(xiǎn)。
安靜:阿爾卡特真空泵所有型號均含一臺靜音裝置,無須再安裝外部消聲裝置。
兼容半導(dǎo)體S2

價(jià)廉物美
工作壓強(qiáng)以及極限壓強(qiáng)下低能耗
ADP/ADS系列2運(yùn)行溫低,用水量非常小。
用戶可輕松設(shè)定氮凈化水平,應(yīng)用于清潔環(huán)境無須凈化。

典型應(yīng)用工藝:
ADP 122 LM, ADS 602 LM
真空進(jìn)片室,傳送室,物**相沉淀,鍍膜
ADP 122 P, ADS 602 P, ADS 1202 P, ADS 1802 P
灰化,玻璃拆封,電介質(zhì),線蝕刻,注入源,介質(zhì)化學(xué)氣相沉淀
ADS 602 H, ADS 1202 H, ADS 1802 H
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積,低壓化學(xué)氣相沉淀




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